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广州潽拓光电(图)-瓦里安分子泵维修保养-东莞瓦里安分子泵

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广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安分子泵

Agilent安捷伦Turbo-V551涡轮分子泵维修,对应的控制器为:Varian Turbo-V551

Agilent涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的zhuan用泵。

应用领域:建筑玻璃镀膜,汽车玻璃镀膜,太阳能玻璃镀膜,平板显示屏镀膜 、增强耐磨性能的表面处理、制备功能性薄膜及装饰型镀膜、金属化膜层、食品工业,包装业及电子产品行业的卷绕镀膜

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Agilent安捷伦Turbo-V551涡轮分子泵维修,对应的控制器为:Varian Turbo-V551



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广州潽拓光电科技有限公司-瓦里安分子泵  VARIAN TV81AG-NAV维修厂家

电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。



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振动频率为60%-100%工作转速,或者是密封间隙过大,护圈松动,密封磨损

处理方法:检查、调整或更换密封;

振动频率为2倍工作转速,不对中,联轴器松动,密封装置摩擦,壳体变形,轴承损坏,支承共振,推力轴承损坏,轴弯曲,不良的配合

处理方法:检查,采取相应措施,修理、调整或更换;




  广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安分子泵 agilent TV304NAV.C.U分子泵驱动器故障

  分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?

原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。

解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。




 广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安分子泵 agilent TV304NAV.C.U分子泵驱动器故障

分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?

答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要zhuan用仪器和特定的测试环境